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硅烷中的微量氧含量如何測量及ADEV氧分析儀OxyTrend應用|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

硅烷中的微量氧含量如何測量及ADEV氧分析儀OxyTrend應用

硅烷,化學式為SiH4,是一種重要的電子工業(yè)用氣體,廣泛應用于液晶TFT、太陽能電池、半導體、感光體材料等領(lǐng)域。為了保證硅烷的性能和純度,對其中的微量氧含量進行準確測量至關(guān)重要。本文將探討如何使用ADEV氧分析儀OxyTrend來測量硅烷中的微量氧含量。

首先,要明確氧含量對硅烷質(zhì)量的影響。在制備硅烷的過程中,原料中的氧氣可能會被引入到產(chǎn)品中,導致硅烷中氧含量的增加。如果氧含量過高,會對硅烷的品質(zhì)和使用效果產(chǎn)生**影響,如降低硅烷的穩(wěn)定性、影響其在高純度半導體制造中的性能等。硅烷中的微量氧含量如何測量及ADEV氧分析儀OxyTrend應用

為了準確測量硅烷中的微量氧含量,需要選擇合適的分析方法。ADEV氧分析儀OxyTrend采用電化學原理,能夠快速準確地檢測氣體中的微量氧氣濃度。該儀器基于ECD(電子捕獲檢測器)技術(shù),通過測量與氧氣反應產(chǎn)生的電流來計算氧氣的濃度。與傳統(tǒng)的化學分析方法相比,ECD具有更高的靈敏度和選擇性,能夠更好地滿足高純度氣體分析的要求。

使用ADEV氧分析儀OxyTrend進行硅烷中微量氧含量的測量時,需要注意以下幾點:硅烷中的微量氧含量如何測量及ADEV氧分析儀OxyTrend應用

  1. 校準儀器:為了保證測量結(jié)果的準確性,需要定期對儀器進行校準??梢圆捎靡阎獫舛鹊难鯕鈽藴蕷怏w進行校準,確保儀器的準確性和可靠性。
  2. 樣品采集:在采集硅烷樣品時,要保證樣品的代表性,避免受到污染或交叉污染。同時,要確保樣品采集過程中使用的工具和容器潔凈干燥,避免對測量結(jié)果產(chǎn)生干擾。
  3. 操作規(guī)范:在操作儀器時,要嚴格按照說明書的要求進行操作,避免因操作不當造成測量誤差。同時,要關(guān)注儀器的運行狀態(tài)和各項參數(shù)指標,確保其正常穩(wěn)定運行。硅烷中的微量氧含量如何測量及ADEV氧分析儀OxyTrend應用
  4. 數(shù)據(jù)處理:對于測量得到的數(shù)據(jù)要進行合理的處理和分析,以得出準確的結(jié)論??梢愿鶕?jù)需要采用統(tǒng)計分析方法對大量數(shù)據(jù)進行處理,以提高結(jié)果的可靠性和準確性。

總之,使用ADEV氧分析儀OxyTrend來測量硅烷中的微量氧含量是一種準確可靠的方法。通過合理選擇和使用該儀器,可以有效地監(jiān)測和控制硅烷中的氧含量,為硅烷的高效利用和產(chǎn)品質(zhì)量提供有力保障。同時,要關(guān)注儀器的維護和校準工作,確保其長期穩(wěn)定運行,為工業(yè)生產(chǎn)中的氣體分析提供可靠的支撐。

硅烷中的微量氧含量如何測量及ADEV氧分析儀OxyTrend應用

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