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產(chǎn)品資料

惰性氣體氧氣氫氣純化器

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產(chǎn)品名稱: 惰性氣體氧氣氫氣純化器
產(chǎn)品型號: 9NP氣體純化器廠家
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

惰性氣體氧氣氫氣純化器9NP系列高性能氣體凈化器采用常溫催化技術,通過化學反應和物理吸附相結合,在常溫下將工藝氣體中的H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHC等雜質去除至1ppb以下。此外,316L不銹鋼內膽內置過濾精度為0.003微米的顆粒過濾器,內表面經(jīng)過電化學拋光處理。


惰性氣體氧氣氫氣純化器  的詳細介紹

惰性氣體氧氣氫氣純化器

9NP系列高性能氣體凈化器采用常溫催化技術,通過化學反應和物理吸附相結合,在常溫下將工藝氣體中的H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHC等雜質去除至1ppb以下。此外,316L不銹鋼內膽內置過濾精度為0.003微米的顆粒過濾器,內表面經(jīng)過電化學拋光處理。主要用于氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣的凈化,可以大大去除氣體中含有的氧氣、氮氣、氫氣、二氧化碳、碳氧化物、碳氫化合物、水等雜質。為ICP-MS、ICP-MS、原子吸收光譜、氣相色譜、液相色譜、GC-MS等提供高純度惰性氣體。以確保良好的惰性氣氛。


惰性氣體氧氣氫氣純化器產(chǎn)品特性

常溫下流量范圍1-2000slm的出口氣體雜質含量小于1ppb,內置0.003微米316L SS過濾器的316L SS EP凈化罐100%氦檢漏,可配置二閥、三閥、四閥等閥門組件,可原廠認證回收CE。使用成本低。



惰性氣體氧氣氫氣純化器純化指標

氣體類型*

可純化氣體*

去除雜質

純化指標

惰性氣體-I

N2, Ar, He, Xe, Ne, Kr

H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC

<1ppb

氧氣-O

O2, CDA

H2O, CO2, NMHC

氫氣-H

H2

H2與惰性氣體混合氣

H2O, O2, CO, CO2, NMHC

*表格中僅列出典型的氣體類型和常見的可純化氣體,更多氣體純化應用請與埃登威聯(lián)系。


惰性氣體氧氣氫氣純化器型號說明

產(chǎn)品型號

常規(guī)流量

(slm)

*大壓力

(MPa)

*大壓差

(MPa)

顆粒過濾器

(μm)

進/出氣口接頭

進出氣口距離

L

純化器外徑

D

9NP001

1

1.0

0.1

0.003

1/4” MVCR

3.3”

(84mm)

1.5”

(38.1mm)

9NP003

3

1.0

0.1

0.003

1/4” MVCR

4.5”

(114mm)

1.5”

(38.1mm)

9NP005

5

1.0

0.1

0.003

1/4” MVCR

5”

(127mm)

1.5”

(38.1mm)

9NP030

30

1.0

0.1

0.003

1/4” MVCR

6.3”

(160mm)

2”

(50.8mm)

9NP050

50

1.0

0.1

0.003

1/4” MVCR

7.9”

(202mm)

3”

(76.2mm)

9NP300

300

1.0

0.1

0.003

1/4” MVCR

17.3”

(440mm)

4”

(101.6mm)

9NP300-8L

500

1.0

0.1

0.003

1/2” MVCR

20.0”

(508mm)

4”

(101.6mm)

9NP999

1000

1.0

0.1

0.003

1/2” FVCR

1/2” MVCR

28.2”

(716mm)

6”

(152.4mm)

9NP1999S

2000

1.0

0.1

0.003

3/4” MVCR

50.8”

(1290mm)

6”

(152.4mm)

表格中僅列出標準流量、指標和配置,更多特殊要求請與埃登威聯(lián)系。


惰性氣體氧氣氫氣純化器產(chǎn)品應用

集成電路制造 半導體分立器件制造 硅片、襯底、外延片生產(chǎn) LED、激光器制造 高效太陽能電池生產(chǎn) 光纖預制棒生產(chǎn) 眾多半導體工藝設備配套 超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產(chǎn) 吹掃氣體、載氣及零點氣體純化 大學和研究所等科研機構產(chǎn)品研發(fā)


氫氣凈化裝置的工作原理:采用非蒸散性鋯鋁合金16吸氣劑作為凈化劑。吸氣劑主要由Zr5AL4、Zr5AL3、Zr3AL2、Zr2AL等金屬間化合物組成。它具有高活性和低擴散活化能。氣體吸附在表面時,在一定溫度下會很容易擴散到體內,具有吸雜率高、吸雜量大的特點?;罨?,它能在*佳吸氣溫度范圍內有效吸收O2、N2、CO2、CO、H2、CH4和水。


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